拋光液對拋光工藝的影響
1.溫度:溫度的升高增強了拋光液的化學(xué)反應能力,提高了拋光速率。但是溫度太高會(huì )引起拋光液體的揮發(fā)和化學(xué)反應的加速將導致嚴重的表面腐蝕,這將產(chǎn)生不均勻的拋光效果并降低拋光質(zhì)量下降。
2.pH值:拋光液的pH值越高,堿度越強,反應速度越快。 但是,pH值是溶液和溶解度以及拋光液的穩定性有很大的影響,影響材料的去除率和表面質(zhì)量,因此應嚴格控制。
3.壓力:通常,壓力越高,拋光速度越快。 然而,當壓力足夠高時(shí),拋光速率將略微降低。由于高壓,拋光墊承載拋光液的能力降低。 另外,大壓力容易形成碎片。
4.旋轉速度:旋轉速度的增加會(huì )導致拋光速率的增加。 但是,如果轉速過(guò)高,則拋光液會(huì )不均勻地分布在拋光墊上均勻地影響拋光質(zhì)量。
5.拋光液濃度:當拋光液濃度增加時(shí),去除率也增加,但是當磨粒濃度超過(guò)一定值時(shí),材料去除率將停止增加并保持恒定值。 這種現象稱(chēng)為去除飽和。 濃度過(guò)高可能會(huì )導致表面缺陷(劃痕)增加,影響表面質(zhì)量。
拋光液對拋光工藝的影響
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